一、產品定位與核心優(yōu)勢

INFICON UL1000 Fab干式氦氣檢漏儀是專為半導體制造及工業(yè)檢漏場景打造的高性能檢測設備，憑借干式泵技術、ULTRATEST™傳感器技術與I-CAL算法，成為真空泄漏檢測領域的“干式標準"。它平衡了超高靈敏度、快速響應與低污染特性，既能滿足半導體fab對清潔度的嚴苛要求，也能適配工業(yè)環(huán)境下高負荷、多場景的檢漏需求，為用戶提供兼具精準性與經濟性的檢漏解決方案。

二、核心功能與技術特點

1. 超靈敏與快速響應通過優(yōu)化的真空架構，UL1000 Fab實現(xiàn)了低至<5×10?12 mbar·l/s的真空模式檢漏靈敏度，搭配I-CAL智能泄漏率計算算法，在低泄漏率范圍也能實現(xiàn)秒級響應——從1×10?12 mbar·l/s的背景值檢測到1×10?1? mbar·l/s的微小泄漏僅需不到1秒，解決傳統(tǒng)檢漏儀在低量程下響應緩慢的痛點。同時，其15個數(shù)量級的寬測量范圍，可覆蓋從超微泄漏到較大泄漏的全量程檢測，無需更換設備即可完成多場景測試。

2. 干式清潔與污染防護采用干式渦旋泵與多入口渦輪分子泵組合，消除了油霧污染風險，避免被測部件或設備被碳氫化合物、顆粒污染，特別適配半導體制造中對清潔度要求的場景^。設備還具備自保護功能，可防止氦氣與微粒污染內部組件，自動吹掃循環(huán)能快速清理腔體，確保每次測試前設備處于狀態(tài)。

3. 高機動性與易用設計全金屬外殼搭配集成滾輪，整機重量110kg，尺寸為1068×525×850mm，可輕松穿梭于fab車間或工業(yè)場地的狹窄空間^?？尚D的彩色顯示屏支持數(shù)字、柱狀圖、趨勢圖等多種顯示模式，關鍵功能一鍵觸達，菜單式操作界面簡單直觀，還可通過無線遙控器實現(xiàn)遠程操控，進一步提升操作便利性。

三、技術參數(shù)

四、典型應用場景

1. 半導體制造適配IC封裝、石英晶體、激光二極管等密封部件的檢漏測試，符合MIL-STD 883/843 Method 1014標準，可快速定位微米級泄漏點，保障晶圓加工設備腔體、真空法蘭等關鍵部位的真空穩(wěn)定性，提升產品良率。

2. 工業(yè)設備維護用于航空航天模擬艙、粒子加速器等科研真空系統(tǒng)，以及光伏PECVD鍍膜設備、鋰電池生產設備的泄漏檢測，在高負荷、高要求的場景下實現(xiàn)精準、高效的檢漏作業(yè)。

3. 電子元器件檢測針對密封繼電器、接插件等電子產品，可完成批量、高循環(huán)率的密封性能測試，確保產品在嚴苛環(huán)境下的可靠性。